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ANELVA SPF-530H
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◎濺鍍電源:1DC 4.5kw / 1RF 5kw(偏壓)
◎PUMP能力:極限壓力5*10-7Torr以下 / 排氣時間(空爐)10-6Torr台15分以內
◎濺鍍槍3set Ø6吋 / 濺鍍率:1000A /min(Ø70內平均)
◎膜厚分布:±10%以內(Ø70內)
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