◎Ø腔體尺寸:Ø1350
◎膜厚控制:石英
◎單電子槍
◎坩鍋數量:12個
◎熱電阻式蒸鍍源:1RH
◎掛具:傘型
◎具備離子源
◎加熱源:Micro Heater
◎排氣系統:DP+RP+MP+POLYCOLD