產品詳情
無線靜電吸盤 Move-Free Thin Warpage Wafer Supporter
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產品詳情
專利庫倫力型靜電吸盤經歷長期研發改進和驗證，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做托盤載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。
專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性，可為許多輕薄軟物件、真空環境中的工程問題，提供最佳解決方案。
■ 主要吸附應用：
(1) 超薄超大尺寸平板玻璃 Flat Panel。
(2) 半導體薄化晶圓 Thin Wafer Handling。
(3) 晶圓搬運 Wafer Moving。
(4) 翹曲晶圓 Warp Wafer。
(5) Move-Free形狀補強載具，如: 4"Wafer-on-6"E-Chuck。
(6) 軟性銅箔。
(7) 軟性薄膜。
(8) 曲面玻璃。
(9) 真空貼合。
(10) 真空蒸鍍。
■ 可吸附材質
(1) 金屬導體。(如：銅箔。)
(2) 半導體。(如：Silicon, GaAs。)
(3) 絕緣體。(如： 紙張，玻璃基板。)
(4) 多孔隙物體。
(5) 單位面積吸附力與吸附材質和接觸表面平滑度有關。金屬最佳，半導體次之，非金屬更次之。
■ 可操作環境
(1) 大氣壓力。
(2) 真空環境。
■ 什麼是靜電吸盤 E-Chuck?
靜電吸盤是於電極施加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。
■ 靜電吸盤的種類
(1) Coulomb-Fore 庫倫力型靜電吸盤
(2) Johnsen-Rahbek 或 JR 靜電吸盤
■ 庫倫力型靜電吸盤的優點
(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。
(2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。
(3) 被吸物體背面的電位為零，對被吸物體背部電子回路沒有影響，避免傳統靜電吸盤的靜電干擾。
(4) 不是用夾取，是用吸附。對象物面的均勻作用力，對象物不產生壓痕，傷痕等。
(5) 可加強支撐厚度薄的晶圓，重整彎曲之晶圓。吸附後，可共同進入加工程序。
■ 專利庫倫力型靜電吸盤的特色
(1) 庫倫力型靜電吸盤。
(2) 本靜電吸盤研發改進數十年，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。
(3) 以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。
(4) 在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的電子吸盤。
(5) 對象物的背部的電位為零，所以不影響背部的回路 (比如TFT回路)。
(6) 可吸附多種材質和多孔隙材料：金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料等。
(7) 在真空環境或一般大氣環境均可使用。
(8) 可定義吸附區及非吸附區，非吸附區可以供其他功能使用。
(9) 可使用不同基底材質 (如 :不鏽鋼，鋁板，半導體晶圓，玻璃，陶瓷 )。
(10) 可客制化成多樣尺寸形狀厚度供客戶使用。
(11) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
(12) 無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做托盤載具應用。
■ 主要產品
① 無線吸盤 (Move-Free) Supporter
1. 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。
2. 吸附完成後，可以在無電源接觸的狀況下，保有原本的吸附狀態。
3. 需要接上控制器設定，以切換吸附狀態。
4. 最高操作溫度：250度C。
5. 適合輕薄軟物件的載具。(例如：厚度薄化之矽晶圓 Thin Wafer Handling，晶圓搬運 Wafer Moving，4"wafer on 8"E-Chuck。)
② 有線吸盤 (Wired) Stage Holder
1. 可隨時用電源切換，吸附或放開。
2. 最高操作溫度：200度C (吸盤表面)。
3. 適合自動化機台裝置。(例如：曲面玻璃，無邊框螢幕，OLED, 觸控面板之真空壓合。)
③ 手持式無線吸盤 (Cordless) Palm：
1. 適合手持工程操作。(例如：12"晶圓，7"平板玻璃。)
2. 使用充電電池，方便攜帶使用。
④ 其他特殊吸盤 Custom E-Chuck：
1. 電池式吸盤 Cordless Holder
2. 彎曲滾筒式吸盤 Electric Belt (例如：印表機。)
3. 防皺吸盤 (例如：軟性銅箔。)
■ 示範影片
Patent Coulomb-Force E-Chuck (Electrostatic Chuck) for Thin/Warp Materials and Vacuum Environments
https://youtu.be/FVvNLzzwZSE
⓪專利靜電吸盤特性示範
Patent Coulomb-Force E-Chuck (Electrostatic Chuck) : Adsorb Conductor, Semiconductor, Insulator
http://youtu.be/YE7g5NxWf3k
①無線吸盤: Move-Free 薄化晶圓載體
Move-Free Supporter for Thin Warpage Wafer Handling
http://youtu.be/frCZIZ0A2x0
②有線吸盤: 玻璃與紙的吸附示範
Wired Stage Holder for Glass & Paper Adsorption
http://youtu.be/w85Cb-R6c58
③手持式無線吸盤: 半導體應用
Cordless Palm for Semiconductor Wafer Handling
http://youtu.be/nKiL2Q9khUY
④其他: 銅箔吸附示範
Custom E-Chuck for Copper Foil Adsorption
http://youtu.be/vlwnmlcFDZ4
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